Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии

С. Сенкевич; А. Канарейкин; Е. Каптелов; И. Пронин

Статья

Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии

С. Сенкевич, А. Канарейкин, Е. Каптелов, И. Пронин

2013

Методом растровой электронной микроскопии проведено исследование микроструктуры и состава тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных по двухстадийной технологии (ВЧ магнетронное распыление керамической мишени и последующий высокотемпературный отжиг), в зависимости от температуры термообработки. Показано, что уход избыточного свинца из пленки в процессе отжига осуществлялся как по межфазным границам пирохлор-перовскит, так и по межкристаллитным границам.

Цитирование

Список литературы

1. Воротилов К. А., Жигалина О. М., Васильев В. А., Сигов А. С. Особенности формирования кристаллической структуры цирконата-титаната свинца в системах Si-SiO2-Ti(TiO2)-Pt-Pb(ZrxTi1-x)O3 // ФТТ. 2009. Т. 51. Вып. 7. С. 1268-1271.

2. Пронин И. П., Каптелов Е. Ю., Сенкевич С. В., Климов В. А. и др. Особенности кристаллизации поликристаллических тонких пленок PZT, сформированных на подложке Si/SiO2/Pt // ФТТ. 2010. Т. 52. Вып.1. С. 124-128.

3. Пронин И. П., Каптелов Е. Ю., Сенкевич С. В., Флегонтова Е. Ю. Возможности метода электронно-зондового рентгеновского микроанализа для определения состава наноразмерных пленок цирконата-титаната свинца // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. 2011. Т. 2. № 4. С. 48-55.

4. Сенкевич С. В. Особенности кристаллизации и свойств тонких поликристаллических пленок цирконата-титаната свинца, полученных двухстадийным методом: Дис.. канд. физ.-мат. наук. СПб., 2011. 166 с.

5. Яффе Б., Кук У., Яффе Г. Пьезоэлектрическая керамика. М: Мир. 1974. 288 с.

6. Izyumskaya N., Alivov Y.-L, Cho S.-J., Morkoç H. Processing, structure, properties, and applications of PZT thin films // Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences. 2007. V. 32. P. 111-202.

Источник

Информация

Автор

С. Сенкевич Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН
А. Канарейкин Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена
Е. Каптелов Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН
И. Пронин Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН

Название журнала

Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена

Выпуск

Год публикации

2013

Страницы

101-106

Издатель

Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена

Тип документа

научная статья

Примечания

ББК: Ч30я54
EDN: QZETGT
ГРНТИ: 290000

Ключевые слова

Коллекции

Статья

Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии

Похожие публикации

Источник

Информация