%0 научная статья
%A Сенкевич, Станислав Викторович
%A Канарейкин, Алексей Геннадьевич
%A Каптелов, Евгений Юрьевич
%A Пронин, Игорь Петрович
%T Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии
%D 2013
%J Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена
%X Методом растровой электронной микроскопии проведено исследование микроструктуры и состава тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных по двухстадийной технологии (ВЧ магнетронное распыление керамической мишени и последующий высокотемпературный отжиг), в зависимости от температуры термообработки. Показано, что уход избыточного свинца из пленки в процессе отжига осуществлялся как по межфазным границам пирохлор-перовскит, так и по межкристаллитным границам.
%U https://rep.herzen.spb.ru/publication/2695