17 Сенкевич Станислав Викторович Канарейкин Алексей Геннадьевич Каптелов Евгений Юрьевич Пронин Игорь Петрович Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии thin PZT films RF magnetron sputtering lead oxide microinclusions interphase boundaries тонкие пленки PZT ВЧ магнетронное распыление микровключения оксида свинца межфазные границы 2013 2023-07-10 Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена Методом растровой электронной микроскопии проведено исследование микроструктуры и состава тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных по двухстадийной технологии (ВЧ магнетронное распыление керамической мишени и последующий высокотемпературный отжиг), в зависимости от температуры термообработки. Показано, что уход избыточного свинца из пленки в процессе отжига осуществлялся как по межфазным границам пирохлор-перовскит, так и по межкристаллитным границам. https://rep.herzen.spb.ru/publication/2695