Доклад конференции
Неразрушающий контроль элементного состава конденсированного состояния вещества с разрешением по глубине
2023
Представлены результаты комплексного исследования распределения элементного состава по глубине двухслойных пленок цирконата титаната свинца толщиной 900 нм, сформированных с помощью высокочастотного магнетронного распыления из керамической мишени на кремниевые подложки. Исследования проведены методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа на растровом электронном микроскопе EVO-40. Показано, что изменение энергии первичных электронов в диапазоне от 3-30 кэВ позволяет детектировать компоненты многослойных структур с разрешением по глубине.
Дункабаш А. Р., Пронин В. П., Шадрин Е. Б. Неразрушающий контроль элементного состава конденсированного состояния вещества с разрешением по глубине. 2023;:695-701.
Цитирование
Список литературы