@article{Сенкевич2023-07-10,
author = {С. Сенкевич, А. Канарейкин, Е. Каптелов, И. Пронин},
title = {Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии},
year = {2013},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Методом растровой электронной микроскопии проведено исследование микроструктуры и состава тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных по двухстадийной технологии (ВЧ магнетронное распыление керамической мишени и последующий высокотемпературный отжиг), в зависимости от температуры термообработки. Показано, что уход избыточного свинца из пленки в процессе отжига осуществлялся как по межфазным границам пирохлор-перовскит, так и по межкристаллитным границам.},
URL = {https://rep.herzen.spb.ru/publication/2695},
journal = {Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена},
}