TY  - JOUR
T1  - Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии
JF  - Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена
AU  - Сенкевич, Станислав Викторович
AU  - Канарейкин, Алексей Геннадьевич
AU  - Каптелов, Евгений Юрьевич
AU  - Пронин, Игорь Петрович
Y1  - 2023-07-10
UR  - https://rep.herzen.spb.ru/publication/2695
N2  - Методом растровой электронной микроскопии проведено исследование микроструктуры и состава тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных по двухстадийной технологии (ВЧ магнетронное распыление керамической мишени и последующий высокотемпературный отжиг), в зависимости от температуры термообработки. Показано, что уход избыточного свинца из пленки в процессе отжига осуществлялся как по межфазным границам пирохлор-перовскит, так и по межкристаллитным границам.