RT - научная статья
SR - Electronic
T1 - Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии
JF - Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена
SP - 2023-07-10
A1 - Сенкевич, Станислав Викторович
A1 - Канарейкин, Алексей Геннадьевич
A1 - Каптелов, Евгений Юрьевич
A1 - Пронин, Игорь Петрович
YR - 2013
UL - https://rep.herzen.spb.ru/publication/2695
AB - Методом растровой электронной микроскопии проведено исследование микроструктуры и состава тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных по двухстадийной технологии (ВЧ магнетронное распыление керамической мишени и последующий высокотемпературный отжиг), в зависимости от температуры термообработки. Показано, что уход избыточного свинца из пленки в процессе отжига осуществлялся как по межфазным границам пирохлор-перовскит, так и по межкристаллитным границам.