Статья

Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников

В. Пронин, И. Хинич, И. Чистотин
2009

Анализируется возможность количественного анализа элементного состава поверхности многокомпонентных твердых тел с разрешением по глубине в режиме измерения коэффициентов упругого отражения электронов в узком телесном угле.

Цитирование

Список литературы

Похожие публикации

Источник