Статья
Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников
В. Пронин,
И. Хинич,
И. Чистотин
2009
Анализируется возможность количественного анализа элементного состава поверхности многокомпонентных твердых тел с разрешением по глубине в режиме измерения коэффициентов упругого отражения электронов в узком телесном угле.
Пронин В., Хинич И., Чистотин И. Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников. Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена. 2009;(79):133-140.
Цитирование
Список литературы
1. Бронштейн И. М., Пронин В. П., Хинич И. И., Чистотин И. А. Спектроскопия упругого отражения электронов как эффективный метод диагностики поверхности твердого тела // Известия РГПУ им. А. И. Герцена: Научный журнал: Физика. 2006. № 6 (15). С. 151- 165.
2. Мотт Н., Месси Г. Теория атомных столкновений / Пер. с англ. - М.: Мир, 1969. - 756 с.
3. Gergely G. Elastic backscattering of electrons: determination of physical parameters of electron transport processes by elastic peak electron spectroscopy // Progress in surface science. 2002. V. 71. P. 31-88.
4. Gergely G. Elastic peak electron spectroscopy // Scanning. 1986. V. 8. P. 203-214.
5. Chen Y. F. Effect of surface excitations in determining the inelastic mean free path by elastic peak electron spectroscopy // J. Vac. Sci. Technol. 1995. A 13(6). Nov/Dec.
6. Powell C. J., Jablonski A. NIST electron elastic-scattering cross-section database. Version 3. 1, Standard Reference Data Program Database 64. - National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD, 2003.
7. Powell C. J., Jablonski A. NIST electron inelastic-mean-free-path database. Version 1.1, Standard Reference Data Program Database 71, US Department of commerce. - National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD, 2000.
8. Jablonski A. Analytical applications of elastic electron backscattering from surfaces // Progress in Surface Science. 2003. V. 74. P. 357-374.
Похожие публикации