TY  - JOUR
T1  - Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников
JF  - Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена
AU  - Пронин, Владимир Петрович
AU  - Хинич, Иосиф Исаакович
AU  - Чистотин, Игорь Андреевич
Y1  - 2023-07-10
UR  - https://rep.herzen.spb.ru/publication/5522
N2  - Анализируется возможность количественного анализа элементного состава поверхности многокомпонентных твердых тел с разрешением по глубине в режиме измерения коэффициентов упругого отражения электронов в узком телесном угле.