%0 научная статья
%A Пронин, Владимир Петрович
%A Хинич, Иосиф Исаакович
%A Чистотин, Игорь Андреевич
%T Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников
%D 2009
%J Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена
%X Анализируется возможность количественного анализа элементного состава поверхности многокомпонентных твердых тел с разрешением по глубине в режиме измерения коэффициентов упругого отражения электронов в узком телесном угле.
%U https://rep.herzen.spb.ru/publication/5522