RT - научная статья
SR - Electronic
T1 - Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников
JF - Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена
SP - 2023-07-10
A1 - Пронин, Владимир Петрович
A1 - Хинич, Иосиф Исаакович
A1 - Чистотин, Игорь Андреевич
YR - 2009
UL - https://rep.herzen.spb.ru/publication/5522
AB - Анализируется возможность количественного анализа элементного состава поверхности многокомпонентных твердых тел с разрешением по глубине в режиме измерения коэффициентов упругого отражения электронов в узком телесном угле.