<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<xml>
 <records>
  <record>
   <ref-type name="Journal Article">17</ref-type>
   <contributors>
    <authors>
     <author>Пронин Владимир Петрович</author>
     <author>Хинич Иосиф Исаакович</author>
     <author>Чистотин Игорь Андреевич</author>
    </authors>
   </contributors>
   <titles>
    <title>Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников</title>
   </titles>
   <keywords>
    <keyword>electron spectroscopy</keyword>
    <keyword>Elastic electron scattering</keyword>
    <keyword>solid state surface</keyword>
    <keyword>электронная спектроскопия</keyword>
    <keyword>упругое рассеяние электронов</keyword>
    <keyword>поверхность твердого тела</keyword>
   </keywords>
   <dates>
    <year>2009</year>
    <pub-dates>
     <date>2023-07-10</date>
    </pub-dates>
   </dates>
   <journal>Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена</journal>
   <abstract>Анализируется возможность количественного анализа элементного состава поверхности многокомпонентных твердых тел с разрешением по глубине в режиме измерения коэффициентов упругого отражения электронов в узком телесном угле.</abstract>
   <urls>
    <web-urls>
     <url>https://rep.herzen.spb.ru/publication/5522</url>
    </web-urls>
   </urls>
  </record>
 </records>
</xml>
