@article{Пронин2023-07-10,
author = {В. Пронин, И. Хинич, И. Чистотин},
title = {Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников},
year = {2009},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Анализируется возможность количественного анализа элементного состава поверхности многокомпонентных твердых тел с разрешением по глубине в режиме измерения коэффициентов упругого отражения электронов в узком телесном угле.},
URL = {https://rep.herzen.spb.ru/publication/5522},
journal = {Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена},
}