PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Пронин, Владимир Петрович
AU - Хинич, Иосиф Исаакович
AU - Чистотин, Игорь Андреевич
TI - Спектроскопия упругого отражения электронов для элементного анализа диэлектриков и высокоомных полупроводников
DP - 2023-07-10
TA - Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена
SO - https://rep.herzen.spb.ru/publication/5522
AB - Анализируется возможность количественного анализа элементного состава поверхности многокомпонентных твердых тел с разрешением по глубине в режиме измерения коэффициентов упругого отражения электронов в узком телесном угле.