17 Дункабаш А Р Пронин В П Шадрин Е Б неразрушающий элементный анализ тонкие пленки ЦТС элек-тронно-зондовый рентгеноспектральный микроанализ non-destructive elemental composition thin PZT films EPMA 2023 2024-04-05 Представлены результаты комплексного исследования распределения элементного состава по глубине двухслойных пленок цирконата титаната свинца толщиной 900 нм, сформированных с помощью высокочастотного магнетронного распыления из керамической мишени на кремниевые подложки. Исследования проведены методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа на растровом электронном микроскопе EVO-40. Показано, что изменение энергии первичных электронов в диапазоне от 3-30 кэВ позволяет детектировать компоненты многослойных структур с разрешением по глубине. https://rep.herzen.spb.ru/publication/15991 https://rep.herzen.spb.ru/files/7384