%0 
%A Дункабаш, А Р
%A Пронин, В П
%A Шадрин, Е Б
%T Неразрушающий контроль элементного состава конденсированного состояния вещества с разрешением по глубине
%D 2023
%X Представлены результаты комплексного исследования распределения элементного состава по глубине двухслойных пленок цирконата титаната свинца толщиной 900 нм, сформированных с помощью высокочастотного магнетронного распыления из керамической мишени на кремниевые подложки. Исследования проведены методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа на растровом электронном микроскопе EVO-40. Показано, что изменение энергии первичных электронов в диапазоне от 3-30 кэВ позволяет детектировать компоненты многослойных структур с разрешением по глубине.
%U https://rep.herzen.spb.ru/publication/15991