@article{Дункабаш2024-04-05,
author = {А. Р. Дункабаш, В. П. Пронин, Е. Б. Шадрин},
title = {Неразрушающий контроль элементного состава конденсированного состояния вещества с разрешением по глубине},
year = {2023},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Представлены результаты комплексного исследования распределения элементного состава по глубине двухслойных пленок цирконата титаната свинца толщиной 900 нм, сформированных с помощью высокочастотного магнетронного распыления из керамической мишени на кремниевые подложки. Исследования проведены методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа на растровом электронном микроскопе EVO-40. Показано, что изменение энергии первичных электронов в диапазоне от 3-30 кэВ позволяет детектировать компоненты многослойных структур с разрешением по глубине.},
URL = {https://rep.herzen.spb.ru/publication/15991},
eprint = {https://rep.herzen.spb.ru/files/7384},
}