TY  - JOUR
T1  - Неразрушающий контроль элементного состава конденсированного состояния вещества с разрешением по глубине
AU  - Дункабаш, А Р
AU  - Пронин, В П
AU  - Шадрин, Е Б
Y1  - 2024-04-05
UR  - https://rep.herzen.spb.ru/publication/15991
N2  - Представлены результаты комплексного исследования распределения элементного состава по глубине двухслойных пленок цирконата титаната свинца толщиной 900 нм, сформированных с помощью высокочастотного магнетронного распыления из керамической мишени на кремниевые подложки. Исследования проведены методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа на растровом электронном микроскопе EVO-40. Показано, что изменение энергии первичных электронов в диапазоне от 3-30 кэВ позволяет детектировать компоненты многослойных структур с разрешением по глубине.