PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Дункабаш, А Р
AU - Пронин, В П
AU - Шадрин, Е Б
TI - Неразрушающий контроль элементного состава конденсированного состояния вещества с разрешением по глубине
DP - 2024-04-05
SO - https://rep.herzen.spb.ru/publication/15991
AB - Представлены результаты комплексного исследования распределения элементного состава по глубине двухслойных пленок цирконата титаната свинца толщиной 900 нм, сформированных с помощью высокочастотного магнетронного распыления из керамической мишени на кремниевые подложки. Исследования проведены методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа на растровом электронном микроскопе EVO-40. Показано, что изменение энергии первичных электронов в диапазоне от 3-30 кэВ позволяет детектировать компоненты многослойных структур с разрешением по глубине.