Статья
Диэлектрическая релаксация в мдп-структурах на основе оксида алюминия
2012
Экспериментально исследованы диэлектрические свойства структур металл - диэлектрик - полупроводник на основе слоев оксида алюминия, полученных методом молекулярного наслаивания с использованием различных реагентов. Обнаружено, что применение азотной кислоты при получении диэлектрического слоя приводит к увеличению диэлектрической проницаемости, к увеличению диэлектрических потерь и к смещению их максимума в область более низких частот. Кроме того, выявлено уменьшение проводимости и увеличение энергии активации. Установленные закономерности объясняются структурными особенностями слоев, полученных в разных технологических условиях
Леонова Т., Кастро А. Диэлектрическая релаксация в мдп-структурах на основе оксида алюминия. Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена. 2012;(144):45-51.
Цитирование
Список литературы