@article{Леонова2023-07-10,
author = {Т. Леонова, А. Кастро},
title = {Диэлектрическая релаксация в мдп-структурах на основе оксида алюминия},
year = {2012},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Экспериментально исследованы диэлектрические свойства структур металл - диэлектрик - полупроводник на основе слоев оксида алюминия, полученных методом молекулярного наслаивания с использованием различных реагентов. Обнаружено, что применение азотной кислоты при получении диэлектрического слоя приводит к увеличению диэлектрической проницаемости, к увеличению диэлектрических потерь и к смещению их максимума в область более низких частот. Кроме того, выявлено уменьшение проводимости и увеличение энергии активации. Установленные закономерности объясняются структурными особенностями слоев, полученных в разных технологических условиях},
URL = {https://rep.herzen.spb.ru/publication/2809},
journal = {Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена},
}