%0 научная статья
%A Леонова, Татьяна Михайловна
%A Кастро, Арата Рене Алехандро
%T Диэлектрическая релаксация в мдп-структурах на основе оксида алюминия
%D 2012
%J Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена
%X Экспериментально исследованы диэлектрические свойства структур металл - диэлектрик - полупроводник на основе слоев оксида алюминия, полученных методом молекулярного наслаивания с использованием различных реагентов. Обнаружено, что применение азотной кислоты при получении диэлектрического слоя приводит к увеличению диэлектрической проницаемости, к увеличению диэлектрических потерь и к смещению их максимума в область более низких частот. Кроме того, выявлено уменьшение проводимости и увеличение энергии активации. Установленные закономерности объясняются структурными особенностями слоев, полученных в разных технологических условиях
%U https://rep.herzen.spb.ru/publication/2809