Тонкие плёнки IGZO, полученные методом PECVD

С. С. Сафронова, Е. А. Слаповская, С. В. Телегин, Л. А. Мочалов

2025

Цитирование

Список литературы

Автор

С. С. Сафронова Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Е. А. Слаповская Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
С. В. Телегин Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Л. А. Мочалов Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Рецензент

Е. А. Смирнова Физико-технический институт имени А.Ф. Иоффе РАН
А. Н. Борисов Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена

Конференция

Год публикации

Страницы

Коллекции