@article{Сафронова2025-11-10,
author = {С. С. Сафронова, Е. А. Слаповская, С. В. Телегин, Л. А. Мочалов, Е. А. Смирнова, А. Н. Борисов},
title = {Тонкие плёнки IGZO, полученные методом PECVD},
year = {2025},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {},
URL = {https://rep.herzen.spb.ru/publication/20820},
eprint = {https://rep.herzen.spb.ru/files/12679},
}