RT - 
SR - Electronic
T1 - Тонкие плёнки IGZO, полученные методом PECVD
SP - 2025-11-10
A1 - Сафронова, С С
A1 - Слаповская, Е А
A1 - Телегин, С В
A1 - Мочалов, Л А
A1 - Смирнова, Е А
A1 - Борисов, А Н
YR - 2025
UL - https://rep.herzen.spb.ru/publication/20820
AB -