%0 
%A Сафронова, С С
%A Слаповская, Е А
%A Телегин, С В
%A Мочалов, Л А
%T Тонкие плёнки IGZO, полученные методом PECVD
%D 2025
%X 
%U https://rgpu.elpub.ru/publication/20820