PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Сафронова, С С
AU - Слаповская, Е А
AU - Телегин, С В
AU - Мочалов, Л А
AU - Смирнова, Е А
AU - Борисов, А Н
TI - Тонкие плёнки IGZO, полученные методом PECVD
DP - 2025-11-10
SO - https://rep.herzen.spb.ru/publication/20820
AB -