PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Сафронова, С С
AU - Слаповская, Е А
AU - Телегин, С В
AU - Мочалов, Л А
TI - Тонкие плёнки IGZO, полученные методом PECVD
DP - 2025-11-10
SO - https://rgpu.elpub.ru/publication/20820
AB -