TY  - JOUR
T1  - Тонкие плёнки IGZO, полученные методом PECVD
AU  - Сафронова, С С
AU  - Слаповская, Е А
AU  - Телегин, С В
AU  - Мочалов, Л А
AU  - Смирнова, Е А
AU  - Борисов, А Н
Y1  - 2025-11-10
UR  - https://rep.herzen.spb.ru/publication/20820
N2  -