Рассмотрены особенности электролюминесценции в красной области спектра, возникающей в структурах кремний-диэлектрик при наличии в диэлектрическом слое сильного электрического поля, обеспечивающего инжек-цию электронов из полевого электрода. Показана возможность использования характеристик полосы излучения ~1,9 эВ (интенсивность, полуширина, кинетика интенсивности, зависимость интенсивности от плотности возбуждающего тока) в этой области спектра для изучения физико-химических процессов, протекающих в структурах кремний-диэлектрик как в процессе их формирования, так и в результате различных внешних воздействий, сопровождающих их дальнейшее использование.
1. Аскинази А. Ю., Барабан А. П., Дмитриев В. А., Милоглядова Л. В. Энергетическое положение электрически активных центров в окисном слое SIMOX-структур // Письма ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 23. С. 23-29.
2. Барабан А. П., Коноров П. П., Кручинин А. А., Тарантов Ю. А. Спектры электролюминесценции в системе кремний-двуокись кремния-электролит // Электрохимия. 1984. Т. ХХ. № 4. С. 539-542.
3. Барабан А. П., Булавинов В. В., Коноров П. П. Электроника слоев SiO2 на кремнии. - Л.: Изд-во ЛГУ, 1988. - 304 с.
4. Дрозд В. Е., Барабан А. П., Никифорова И. О., Алесковский В. Б., Корольков Д. В. Молекулярное наслаивание - прецизионный метод синтеза диэлектрических пленок для микроэлектроники // Известия вузов: Электроника. 1996. № 1-2. С. 33-37.
5. Силинь А. Р., Трухин А. Н. Точечные дефекты и элементарные возбуждения в кристаллическом и стеклообразном SiO2. - Рига, 1985.
6. Canham L. T. Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 57. Р. 1046.
7. Di Maria D. J., Kirtley J. R., Pakulis E. J. e. a. Electroluminescence studies in silicon dioxide films containing finy silicon islands // J. Appl. Phys. 1984. Vol. 56. № 2. Р. 401-416.
8. Gale R., Feigl F. J., Magee C. W. Hydrogen migration under avalanche injection of electron in Si MOS capasitors // J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. № 12.
9. Nicollian E. H., Berglund C. N., Schmidt P. F., Andrews J. M. Electrochemical charging of thermal SiO2 films by injected electron current // J. Appl. Phys. 1971. Vol. 42. № 12.
10. Solomon P., Klein N. Electroluminescence at high fields in silicon dioxide // J. Appl. Phys. 1976. Vol. 47. № 3. Р. 1023-1026.
