Ссылка для цитирования по Vancouver
Борисова Т., Кастро А. Влияние режима синтеза оксидного слоя на диэлектрические свойства структур Si/Al 2O 3/Al. Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена. 2013;(154):53-64.